一、微型熱式氣體質量流量計產品簡介

微型氣體質量流量計是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列的傳感器均采用先進的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用

于各類清潔氣體。獨特的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低，易安裝，不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計。

二、微型熱式氣體質量流量計產品特點

★ 采用微機電系統(MEMS)流量傳感芯片，傳感器具有高精度，高靈敏度，抗干擾性強等特點。

★ 傳感器的零點穩定。

★ 量程范圍內精度高，重復性好。

★ 標準機械接口，安裝方便。

★ RS485通訊輸出，標準MODBUS RTU協議。

★ 采用LCD顯示瞬時流量和累計流量，清晰直觀，讀數方便。

★ 可以選配4~20mA標準電流信號輸出和脈沖輸出。

三、微型熱式氣體質量流量計技術參數

備注：以上數據為在25℃，101.32kPa,干燥空氣下測得

zui小可測流量：0.3NL/min

zui大可測流量：3000NL/min

四、微型熱式氣體質量流量計機械尺寸

如果需要更大流量，可定制。

根據需要可使用標準接頭進行接口轉換

五、微型熱式氣體質量流量計安裝方式

a = 前直管段 b = 后直管段

盡量將控制閥及緩沖切斷閥安裝在熱式氣體質量流量計后面。

六、微型熱式氣體質量流量計接線說明

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